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CLEANROOM · MEDICAL · SEMICONDUCTOR
洁净室·医疗·半导体
要的不是「干净」，而是可量化、可追溯、可验证的洁净
面向半导体晶圆厂、显示面板与电子制造车间、医院手术室与 ICU、制药及医疗器械车间、高校实验室等对空气洁净度要求严苛的场景。按 ISO 14644 洁净等级与 GMP 规范配置初效 G4、中效 F7-F9、高效 H13-H14 HEPA 甚至 ULPA U15-U17 三级过滤，出厂逐台扫描检漏，控制颗粒物、微生物与 AMC 气相污染物，保障产品良率与感染控制水平。
Solution Schematic
解决方案系统图
一、这个行业为什么难做空气过滤器
半导体晶圆制造、显示面板、医院手术室与制药车间，对空气过滤器的要求不是「干净」，而是「可量化、可追溯、可验证的洁净」。同样是空气过滤，这里的失效代价和普通暖通完全不在一个量级。
微粒直接吃掉良率
一粒直径 0.1 μm 的微粒落在光刻胶上，就足以让整片晶圆报废。ISO 14644-1 把洁净室分为 ISO 1—ISO 9，前工序的光刻、刻蚀、薄膜沉积通常运行在 ISO 4—ISO 5。
医疗场景要防的是活体
手术室、ICU、负压隔离病房的空气过滤目标不止除尘，而是阻断病原微生物气溶胶传播，降低手术部位感染风险，保护免疫低下患者。
看不见的气相污染
酸性、碱性、有机气体（AMC）以分子形态存在，能穿透任何颗粒物过滤器，缓慢腐蚀精密设备与光学元件，是颗粒物滤网挡不住的威胁。
阻力就是电费
洁净室是 7×24 小时运行的能耗大户，FFU 与空调箱的过滤阻力每高出几十帕，都会在全年电费上被放大成可观数字。
二、推荐过滤体系：三级过滤
洁净室几乎全部采用「初效 + 中效 + 高效」三级配置：前两级负责把大部分负荷拦在外面，保护末端高效过滤器；高效过滤器负责最终洁净度，是良率与感染控制的最后一道防线。
| 级别 | 典型效率 | 拦截对象与作用 | 推荐产品 |
|---|---|---|---|
| 初效 | G4 | 拦截 ≥5 μm 的粉尘、纤维、絮状物，保护后端滤网与盘管 | 初效折叠式过滤器 / 初效过滤棉 |
| 中效 | F7—F9 | 捕捉 1—5 μm 颗粒，显著延长末端 HEPA 寿命 | F9 中效袋式空气过滤器 / F7 中效袋式空气过滤器 |
| 高效 | H13—H14 HEPA U15—U17 ULPA | 对 ≥0.3 μm 颗粒效率 99.95%—99.995%，决定最终洁净等级 | 无隔板高效过滤器 / 有隔板高效过滤器 / V 型高效过滤器 / 液槽式高效过滤器 |
关键结论：按区域定等级，而不是全厂一刀切。前工序核心区（光刻 / 刻蚀 / 薄膜）按 ISO 4—5 配 H14 ULPA；离子注入、湿法清洗按 ISO 5—6 配 H13—H14 HEPA；封装与测试区按 ISO 6—8 配 H13 即可。清洁度等级定错，要么良率失控，要么白花能耗。
三、五个容易踩坑的关键控制点
- 1逐台检漏，而不是抽检。高效过滤器出厂应逐台做扫描检漏（DOP / PAO），并保留检漏报告。抽检合格的批次里，单台漏点足以让整个洁净区粒子计数超标。
- 2液槽式与无隔板要分开选。液槽式靠液槽密封，气密性最好，适合高风险区与需要频繁更换的工位；无隔板体积小、阻力低、性价比高，适合大面积 FFU 覆盖。选型错位会同时损失气密性和能耗。
- 3密封方式决定实际效率。过滤器本体效率再高，安装框与静压箱之间漏风就等于白装。刀口密封、Gel Seal 液槽密封要按现场结构选，安装后仍需扫漏复验。
- 4压差监控 + 定期更换。以压差达到初阻力 2 倍（或厂家规定终阻力）作为更换触发条件，洁净室 HEPA 的典型更换周期约 2—4 年。只按时间换会浪费，只按感觉换会出事。
- 5医疗场景要按区域功能分区设计。手术室、ICU、负压隔离病房、生物实验室的气流组织与压差梯度要求各不相同，需要在方案阶段就与院感、暖通专业对齐。
四、常见问题
HEPA 选 H13 还是 H14？
ULPA 什么时候必须上？
医院哪些区域必须做高效过滤？
三级过滤会不会让风阻太大、能耗过高？
可以按图纸直接下单一支吗？
Why Whalesens
产品优势
低阻力
容尘量高
高效节能
可定制
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